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日本雅馬拓DTN450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐

更新時間：2023-11-13

簡要描述：

合測實業為日本雅馬拓DTN450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐一級代理商/特約經銷商。DTN450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐最高工作溫度500℃、潔凈度100 級、氧濃度低于20ppm，主要應用于固化半導體晶圓（光刻膠PI、PBO 固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火處理等。

型號：廠商性質：代理商瀏覽量：1148

日本雅馬拓DTN450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐產品特點：

潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐，主要應用于固化半導體晶圓等。

最高工作溫度500℃。

采用耐熱高性能高效過濾器，可在潔凈的環境下進行高溫烘烤。

高氣密性的壓力箱構造，氧濃度到達時間短，N2 消耗量極低。

磁密封保持高氣密性，采用水冷機構保護密封部件免受熱量影響。

可實現快速升溫和降溫，升降溫速率可調節。

標準裝備有廢液回收裝置，對氣體進行冷卻回收。

日本雅馬拓DTN450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐技術參數：

型號DTN450CDTN650C
外形尺寸（寬× 深× 高mm）1240×1010×1750 1450×1060×1960
內尺寸（寬× 深× 高mm）450×450×450660×500×660
內部容積91L216L
溫度范圍室溫+50 ～ 500℃
溫度調節精度±1.0℃（at500℃）
溫度分布精度±8.0℃（at500℃）
最高溫度到達時間約110 分
氧濃度20ppm 以下
氧濃度到達時間≤ 20 分（250L/min 氮氣）≤ 25 分（250L/min 氮氣）
潔凈度溫度恒定時100 級
加熱方式不銹鋼加熱管
冷卻機構不銹鋼冷卻水換熱器
HEPA 過濾器集塵效率：0.3um 粒子99.97% 以上
排氣口40KF 法蘭
氮氣入口Rc1/2
冷卻水入口Rc3/4
熱水出口Rc3/4，2 個
電源（50/60Hz）額定電流  3 相AC380V 20A3 相AC380V 27A

安全性：

門檢測開關

溫度過升防止器

氧濃度異常安全裝置

氮氣壓力檢測

氮氣流量檢測

冷卻水流量檢測

漏水傳感器

過電流漏電漏電保護開關


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